Compresor de aer fără ulei pentru laboratoarele de semiconductori

Pentru a stabili linii de utilități fiabile pentru unități de cercetare de precizie, sursă de la furnizorii China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs. Soluțiile de aer de înaltă puritate DECHUAN utilizează garnituri de izolare cu carbon multistrat pentru a elimina urmele de hidrocarburi, asigurând o calitate impecabilă a gazului pentru gravarea critică a siliciului.

Cerințe critice de puritate a gazelor din camera curată

În fabricarea semiconductoarelor și în litografia cu peliculă subțire, chiar și o singură picătură microscopică de vapori de ulei transportată prin linia de aer poate distruge un întreg lot de producție. Acest produs specializat este conceput pentru a îndeplini cele mai înalte standarde absolute de puritate:

• Livrarea aerului de clasa 0 certificată TÜV: sistemele noastre sunt supuse unor teste riguroase la temperaturi de operare variabile. Analiza independentă confirmă absolut zero urme de ulei în fluxul de aer de ieșire.

• Căi de aer interioare fără coroziune: Fiecare bucată de conductă, pachet de răcire și matrice de separare în aval de camera de compresie este realizată din oțel inoxidabil premium pentru a preveni fulgii de rugină să contamineze conductele de aer din camera curată.

• Integrare avansată Elektronikon®: Controlerul integrat urmărește îndeaproape valorile operaționale și prezintă opriri proactive de siguranță pentru a se asigura că aerul impur nu intră vreodată în rețeaua laboratorului.

Costul ridicat al micro-contaminarii în electronice

În fabricarea de plachete semiconductoare, o singură picătură de aerosol de ulei poate contamina un întreg mediu de cameră curată, distrugând mii de plachete de siliciu și provocând pierderi de milioane de timp de producție. Compresoarele de aer tradiționale nu pot garanta puritatea absolută zero-hidrocarburi necesară pentru aceste procese la scară nanometrică.

Compresorul de aer specializat fără ulei pentru laboratoarele de semiconductori garantează securitatea pură a procesului:

• Debit de aer certificat CLASA 0: testat strict de TÜV în intervale extreme de temperatură și presiune pentru a asigura prezența absolută a uleiului zero.

• Interne fără particule: prerăcitoarele din oțel inoxidabil și schimbătoarele de căldură cu aripioare stea elimină fulgii de oxidare sau scurgerea chimică în calea aerului.

• Scut de monitorizare electronică: Alarmele proactive de întreținere și opririle automate ale erorilor previn abaterile sistemului înainte ca acestea să ajungă la instrumentele camerei curate.

Parametrii tehnici de puritate

• Puterea nominală a sistemului: 55kw - 900kw configurații de înaltă densitate.

• Rata de livrare volumetrică: 4,2 - 148,5 m³/min ieșire de flux curat.

• Clasificarea conținutului de ulei: ISO 8573-1 Clasa 0 validare complet fără ulei.

• Dispoziție de răcire: Răcirea fluidului din oțel inoxidabil care previne eliberarea de gaze chimice.

Condițiile de referință de performanță pentru unitate au fost măsurate conform Anexei C, ediția a 4-a (2009) a ISO 1217:

· Umiditate relativa: 0%

· Presiune absolută de intrare: 1 bar

· Temperatura de intrare: 20°C Rata de descărcare (FAD) a fost măsurată la următoarele presiuni de lucru:

Tip de viteză constantă:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· Tip -10 bar: 9 bar

tip VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Nivelul ponderat al presiunii sonore a emisiilor de clasa A al stației de lucru (LpWSAd). Măsurată conform ISO 2151:2004 (folosind metoda de scanare a intensității sunetului 150 9614/2). Factorul de corecție nou adăugat este o valoare complet incertă (KpAd), conformă cu codul de testare.

· (3) Greutatea este doar pentru referință; greutatea efectivă furnizată va prevala.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Conform ISO 1217 Anexa C, Ediția a 4-a (2009), condițiile de referință ale performanței unității sunt următoarele:

· Umiditate relativa: 0%

· Presiune absolută de intrare: 1 bar

· Temperatura de intrare: 20°C

Deplasarea FAD este măsurată la următoarele presiuni de funcționare:

Modele cu viteza constanta:

-Modele 7,5 bar: 7 bar

-Modele 8,6 bar: 7 bar

-Modele 10 bar: 9 bar

Modele VSD:

-Modele 8,6 bar: 7 bar

-Modele 10,4 bar: 9 bar

(2) Nivelul de presiune acustică de emisie ponderată de clasa A al stației de lucru (LpWSAd). Măsurată conform ISO 2151:2004 (metoda de scanare a intensității sunetului ISO 9614/2). Factorul de corecție nou adăugat KpAd este incert, respectând codul de testare.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Greutatea este doar pentru referință; greutatea reală va prevala.

ZR/ZT 200-275 (FF)

- Umiditate relativa: 0%

- Presiune absolută de intrare: 1 bar

-Temperatura de intrare: 20°℃

Rata de descărcare (FAD) a fost măsurată la următoarele presiuni de funcționare

Tip de viteză constantă:

-7,5 bar tip: 7 bar

-8,6 bar tip: 7 bar

-Tip 10 bar: 9 bar

tip VSD:

-8,6 bar tip: 7 bar

-10,4 bar tip: 9 bar

(2) Nivelul de presiune acustică de emisie ponderată de clasa A al stației de lucru (LpWSAd).

Măsurat conform ISO 2151:2004 (folosind 150 9614/2 (metoda de scanare a intensității sunetului).

Factorul de corecție nou adăugat este o valoare complet incertă (KpAd), conformă cu codul de testare.

(3) Greutatea este doar pentru referință; greutatea efectivă furnizată va prevala.

ZR 300-750

Condițiile de referință de performanță pentru unitate au fost măsurate conform Anexei C, ediția a 4-a (2009) a ISO 1217:

· Umiditate relativa: 0%

· Presiune absolută de intrare: 1 bar

· Temperatura de intrare: 20°C Rata de descărcare (FAD) a fost măsurată la următoarele presiuni de lucru:

Tip de viteză constantă:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· Tip -10 bar: 9 bar

tip VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Nivelul ponderat al presiunii sonore a emisiilor de clasa A al stației de lucru (LpWSAd). Măsurată conform ISO 2151:2004 (folosind metoda de scanare a intensității sunetului 150 9614/2). Factorul de corecție nou adăugat este o valoare complet incertă (KpAd), conformă cu codul de testare.

· (3) Greutatea este doar pentru referință; greutatea efectivă furnizată va prevala.

ZR 200X-400X

Condițiile de referință de performanță pentru unitate au fost măsurate conform Anexei C, ediția a 4-a (2009) a ISO 1217:

· Umiditate relativa: 0%

· Presiune absolută de intrare: 1 bar

· Temperatura de intrare: 20°C Rata de descărcare (FAD) a fost măsurată la următoarele presiuni de lucru:

Tip de viteză constantă:

·  -7,5 bar tip: 7 bar

· -8,6 bar tip: 7 bar

· Tip -10 bar: 9 bar

tip VSD:

· -8,6 bar tip: 7 bar

· -10,4 bar tip: 9 bar

· (2) Nivelul ponderat al presiunii sonore a emisiilor de clasa A al stației de lucru (LpWSAd). Măsurată conform ISO 2151:2004 (folosind metoda de scanare a intensității sunetului 150 9614/2). Factorul de corecție nou adăugat este o valoare complet incertă (KpAd), conformă cu codul de testare.

· (3) Greutatea este doar pentru referință; greutatea efectivă furnizată va prevala.

Studiu de caz pentru utilizatorii de laborator pentru camerele curate

Un producător de electronice din Asia a instalat sistemul de aer specializat al DECHUAN pentru a furniza bucle de generare de azot de înaltă puritate și brațe de testare pneumatice. Anterior, compresoarele standard permiteau vaporilor de ulei să treacă prin filtrele în linie, acoperind lentilele de litografie și provocând micro-fracturi în acoperirile plachetelor. După instalarea compresorului de aer fără ulei pentru laboratoarele de semiconductori, laboratorul a raportat zero incidente de contaminare a conductelor legate de ulei, economisind costuri substanțiale de curățare și recalibrare a camerei curate pe parcursul a doi ani de funcționare continuă.

Croitoria și controlul componentelor personalizate

• Îmbunătățirea materialului din oțel inoxidabil: înlocuim toate componentele turnate interne standard cu oțel inoxidabil de calitate superioară pentru a respecta regulile stricte de micro-contaminare.

• Protocoale avansate de comunicație: Unitatea este preîncărcată cu protocoale de comunicații specializate, permițând centrelor de control pentru camerele curate să monitorizeze de la distanță valorile aerului.

• Amprenta structurală compactă: Aspectul interior este optimizat pentru a minimiza amprenta la sol, făcându-l ușor de instalat în spațiile de utilitate înguste ale subsolului de laborator.

Întrebări frecvente despre cumpărători industriali

Î: Putem conecta acest compresor direct la buclele de filtrare de puritate ultra-înaltă (UHP)?

R: Da, ieșirea noastră de aer este pe deplin compatibilă cu uscătoarele avansate cu desicant pentru camere curate și sistemele de filtrare a particulelor sub-micronice. Deoarece aerul brut nu conține vapori de ulei, filtrele dumneavoastră specializate la punctul de utilizare nu se vor înfunda cu ceață de ulei, prelungind durata de viață a filtrului.

Î: Cum asigură garniturile de tip Z o migrare zero a uleiului din ansamblul angrenajului?

R: Compresorul de aer fără ulei pentru laboratoarele de semiconductori are un spațiu fizic de aerisire atmosferică între carcasa angrenajului lubrifiat cu ulei și camera de compresie uscată. Garniturile speciale de inel de carbon fără contact sunt asociate cu canale de presiune negativă, asigurând că orice ceață de ulei de transmisie este complet blocată de la intrarea în fluxul de aer curat.

Î: Ce se întâmplă dacă un senzor de temperatură intern detectează o citire anormală?

R: Controlerul Elektronikon® prelevează date vitale de mai multe ori pe secundă. Dacă se detectează o creștere a temperaturii în orice etapă, sistemul declanșează instantaneu o oprire automată și închide supapele de izolare, asigurându-se că aerul nerăcit nu curge niciodată în aval în echipamentul sensibil al laboratorului dumneavoastră.